由于插值(zhi)電路,集(ji)成在一個15針D-sub連接器或掃描頭,分(fen)辨率(lv)降低到50納米,可以沒有(you)任何額外的電子產品
允(yun)許的(de)運行速(su)度(du)為正弦信號,輸(shu)出達10米(mi)/秒(miao);均方輸(shu)出的(de)0.1微米(mi)的(de)分辨(bian)率波信號可為1.6米(mi)/秒(miao)的(de)允(yun)許運行速(su)度(du)。
短距離的位置(zhi)誤(wu)差(cha)(插(cha)值誤(wu)差(cha))通(tong)過引(yin)入(ru)振幅的電(dian)子補(bu)(bu)償(chang)和(he)偏移粗信號偏差(cha)均顯著(zhu)降低(di)。這種補(bu)(bu)償(chang)功(gong)能,在所有速度范(fan)圍內可避免錯誤(wu)。
附加功能:
可重復性參(can)考信(xin)號(hao)(多個(ge))精確到一個(ge)特(te)定的增(zeng)量,無論從哪個(ge)方向的基準標記(s)都是(shi)可以的
緊湊的尺寸,安(an)裝(zhuang)公差大(da)
由于2區域掃描,具有(you)高抗污染(ran)性
電子信號(hao)調(diao)整的可能性(安裝后信號(hao)優(you)化(hua))
可選(xuan)附加的光開關(多(duo)個)傳感器集成在掃(sao)描頭(LIA 21 / LIA 22)
易于安裝刻度磁帶(SINGLEFLEX和DOUBLEFLEX),用(yong)于各(ge)種應用(yong)和環境條件
應用范圍:
半導體產??業生產和檢測設(she)備
線(xian)性單元,驅動器和(he)坐(zuo)標表
測(ce)量(liang)設備和測(ce)量(liang)顯微鏡
醫療技術定位和測量設備
復印精密設備
精密加工
機器人
NUMERIK JENA直線光柵LIA20-N501WA兼容光柵尺MV53 40NP。
掃描頭(tou)尺(chi)寸:34*13.2*12.4mm
掃(sao)描頭重量(liang):≤20g
掃描頻率:最大500kHz
電源電壓:5 V±10%
輸出接口
電壓(ya)輸出:1 VPP(15針D-Sub)
方波輸出(chu):RS422,插值可達(da)100次(15針(zhen)D-Sub)
電纜:
允許彎曲半徑:
偶爾彎曲~8毫米
恒定彎曲~40毫米