NUMERIK JENA光柵尺LIK23 vac
- 品 牌：NUMERIK JENA
- 型 號：LIK23 vac
- 技術資料：
- 閱(yue)讀次數：1428
產品介紹
LIK系(xi)列光(guang)柵尺(chi)特(te)別適(shi)用(yong)于(yu)安(an)裝空間有限(xian)的應(ying)(ying)用(yong)。自帶2場(chang)EPIFLEX讀數模塊，也適(shi)用(yong)于(yu)惡(e)劣的應(ying)(ying)用(yong)環境。
性(xing)能(neng)特點
- 真空版LIK 21，外殼版本1
- 帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
- 光柵尺部件滿足真空度達10 E-9 mbar（UHV）的氣壓要求
- 支持150 °C時12小時的加熱周期
- 1 Vpp或RS 422輸出信號
- 多達100倍的細分信號
- 最小測量步距僅50 nm
- 運動速度達10 m/s（1 Vpp）
