VPM-7 SmartPirani ATM 傳(chuan)感器(qi)專為半導體負載鎖(suo)定(ding)(ding)壓(ya)(ya)力控制和其他需(xu)要準確(que)測(ce)量相(xiang)對(dui)于大氣環境壓(ya)(ya)力的真空應用(yong)而(er)設計(ji)(ji)。與傳(chuan)統的負載鎖(suo)定(ding)(ding)傳(chuan)感器(qi)和其他負載鎖(suo)定(ding)(ding)傳(chuan)感器(qi)解決方案(an)相(xiang)比(bi)，它(ta)具有同類更高的性(xing)能(neng)，測(ce)量范圍更廣、精度更高、測(ce)量周期(qi)更快(kuai)。SmartPirani ATM 將導熱性(xing)皮(pi)拉尼熱損失真空計(ji)(ji)的可用(yong)測(ce)量范圍擴大了 1-3 倍，從而(er)確(que)立了新(xin)的標準。

1E-6 至 1333 mbar 寬測量范圍

MEMS Pirani 和(he)壓電(dian)傳(chuan)感器組合(he)

獨立于 2 至 1333 mbar 的氣體

用于負載鎖(suo)定(ding)壓力控制的(de)大氣(qi)切換功能

數字、模擬和設定點控制功能

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電(dian)源電(dian)壓(ya) 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返(fan)回）

5 模擬(ni)電壓信號 +

6 模擬電壓信號(hao) - （返回(hui)）

7 繼電(dian)器 1 NO（常開觸點）

8 繼(ji)電(dian)器(qi) 1 公共端(duan)

9 繼電(dian)器 1 NC（常閉觸點）

10 繼(ji)電器(qi) 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 公共(gong)端

12 繼電器(qi) 2 常開（常開觸點）

13 繼電器 3 常(chang)開(kai)（常(chang)開(kai)觸點）或(huo)模擬輸出 2

14 繼電器(qi) 3 公(gong)共(gong)端

15 繼電器 3 常(chang)開(kai)（常(chang)開(kai)觸點）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB、15 針 HD D-sub、電(dian)源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至(zhi) USB、15 針(zhen) HD D-sub、電源（90 至(zhi) 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuan) USB，9 針(zhen) D 型超微，電(dian)源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通(tong)訊器 USB，9 針(zhen) D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產地：丹麥

法蘭：DN16KF

傳感器：MEMS Pirani / Piezo / Atm.

傳感(gan)器保護：符合標準

通訊：RS-485

輸出STD：標(biao)準(zhun) 輸出

單(dan)位：Torr Torr

設定點：3 個繼電器

連接器：15p HD D-Sub

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 Torr)

測量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar ：MEMS Pirani 熱導(dao)率

測量原(yuan)理 1.5 至 2 mbar：混(hun)合 MEMS Pirani / 壓(ya)電讀(du)數(shu)

測量(liang)原理(li) 2 至 1333 mbar：MEMS 壓(ya)電電阻膜片(pian)

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：讀數的 25 %

精度 1×10^-4 至 7.99 mbar：讀數的 5 %

精度 8.00 至 99.9 mbar：讀(du)數的 1 %

精(jing)度(du) 100 至 800 mbar：讀數的 0.5 %

精(jing)度 800 至(zhi) 1099 mbar：讀數的 0.25 %

精度 1100 至 1333 mbar：讀數的 0.5 %

磁滯 1×10^-3 至(zhi) 10 mbar (ISO19685:2017)：1 %

磁(ci)滯 10 至(zhi) 1333 mbar（ISO19685:2017）：0.1 %

模(mo)擬輸出分辨(bian)率：16 位 (150 μV)

模擬(ni)輸(shu)出(chu)更新率：124 Hz

響應時間(jian)（ISO 19685:2017）：<20 ms

溫度補(bu)償：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點范圍：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 Torr）

固(gu)態繼電器觸點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態繼電器(qi)認證(zheng)(zheng)：UL 認可：文件 E76270；CSA 認證(zheng)(zheng)：證(zheng)(zheng)書(shu) 1175739；EN/IEC 60950-1 認證(zheng)(zheng)

工作環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至 +50 ℃

儲存環境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫(wen)度（非(fei)工作）：+120 ℃

Max介質壓力_Abs：10 bar

安裝位置：任意

保護等級，EN 60529/A2：2013：IP 40

濕(shi)度(du)，IEC 68-2-38：98%，無(wu)冷凝

半導體行業、分析儀器、綠色(se)和可(ke)持續(xu)技(ji)術(shu)、工業涂料、航空航天工業