iVacSens 系(xi)列(lie)真空(kong)(kong)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)模塊是較小的(de)(de)(de)寬量(liang)程多功(gong)(gong)能(neng)組(zu)合(he)真空(kong)(kong)計(ji)。iVacSens 具(ju)有全功(gong)(gong)能(neng)傳(chuan)(chuan)(chuan)統(tong)真空(kong)(kong)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)功(gong)(gong)能(neng)，校準后即可(ke)交(jiao)付使用。它(ta)專為在真空(kong)(kong)下(xia)操作的(de)(de)(de)儀器(qi)(qi)（如(ru)質譜儀和掃描電子顯(xian)微鏡）中的(de)(de)(de)高等級(ji)設(she)(she)(she)備(bei)集成(cheng)而設(she)(she)(she)計(ji)。iVacSens 基于創紀錄的(de)(de)(de) SmartPirani MEMS 熱(re)損(sun)耗(hao)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)，與(yu)傳(chuan)(chuan)(chuan)統(tong)的(de)(de)(de)線式 Pirani、對流規(gui)和傳(chuan)(chuan)(chuan)統(tong) MEMS Pirani 相比，具(ju)有同類更高的(de)(de)(de)性能(neng)、更寬的(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)范圍和更高的(de)(de)(de)精(jing)度(du)。SmartPirani 傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)技術與(yu)隔膜傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)相結合(he)，可(ke)在 2 至 1,333 mbar范圍內進行不(bu)受氣體影響(xiang)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)。iVacSens ATM 包(bao)含(han)一(yi)個熱(re)損(sun)耗(hao) MEMS Pirani 傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)、一(yi)個Abs膜片傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)、一(yi)個氣壓傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)、一(yi)個真空(kong)(kong)溫(wen)度(du)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)和一(yi)個環(huan)境溫(wen)度(du)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)。所有傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)測(ce)(ce)量(liang)值均可(ke)通過 UART 或 RS-485 數(shu)(shu)字接口訪問。溫(wen)度(du)參數(shu)(shu)可(ke)用于在設(she)(she)(she)備(bei)過熱(re)時(shi)發(fa)出(chu)關(guan)閉設(she)(she)(she)備(bei)的(de)(de)(de)警告或控(kong)制信號，或作為計(ji)算設(she)(she)(she)備(bei)預(yu)測(ce)(ce)性維護的(de)(de)(de)參數(shu)(shu)。

超(chao)寬測量范(fan)圍(wei)達 9 個量程

3 個(ge)用于過程(cheng)控制(zhi)的數字設定(ding)值輸出

模擬電壓輸出

數(shu)字(zi) UART 接(jie)口(kou)

數字 RS-485 接口

遠程零點調整

用于診斷的(de)真空溫度傳(chuan)感(gan)器(qi)

超緊湊設計

連(lian)接器引(yin)腳(jiao)引(yin)出（10 引(yin)腳(jiao) 0.5 毫米間距 FCC）引(yin)腳(jiao)描(miao)述

1 電(dian)源電(dian)壓 -（返回(hui)）

2 電(dian)源電(dian)壓(ya) 3.3 VDC 或 4-18 VDC(2)

3 模擬電壓信(xin)號 -（返回）

4 模擬電(dian)壓信號(hao) +

5 設定點 3 輸出(chu)

6 設(she)定點 2 輸出

7 設定點 1 輸出

8 UART 接收(shou)或 RS-485 B

9 UART 發送或 RS-485 A

10 遠程零點輸入

iVacSens 連接電纜 產品編(bian)號(hao)

FCC 扁(bian)平電纜(lan) 0.5 mm 間距(ju) 10 針 30 mm 長 CAB-FCC10P-030

FCC 扁平(ping)電(dian)纜(lan) 0.5 mm 間距 10 針 50 mm 長 CAB-FCC10P-050

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 100 mm 長度 CAB-FCC10P-100

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 150 mm 長(chang) CAB-FCC10P-150

FCC 扁平電(dian)纜 0.5 mm 間距(ju) 10 引腳 200 mm 長(chang)度 CAB-FCC10P-200

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳(jiao) 300 mm 長度 CAB-FCC10P-300

產地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1,333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

測量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar：MEMS 皮(pi)拉尼熱導(dao)率

測量原(yuan)理(li) 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 壓電讀數

測量原理 2 至 1,333 mbar：MEMS 壓電(dian)電(dian)阻(zu)膜(mo)片(pian)

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：讀數(shu)的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99 mbar：讀(du)數的 5 %

精度(du) 10.0 至 99.9 mbar：讀數的 1 %

精(jing)度(du) 100 至(zhi) 800 mbar：讀(du)數(shu)的 0.5 %

精度(du) 800 至 1,099 mbar：讀(du)數的 0.25 %

精度 1,100 至(zhi) 1,200 mbar：讀數的 0.5 %

磁滯 1×10^-3 至 10 mbar (ISO 19685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1,200 mbar（ISO 19685:2017）：0.1 %

真空溫度傳感器(qi)范圍：-20 至 + 85 ℃

真空溫(wen)度傳感器(qi)精度：+/- 1.5 ℃

傳感器(qi)(qi)溫度傳感器(qi)(qi)范圍：-20 至 + 85 ℃

傳感(gan)器溫度傳感(gan)器精(jing)度：+/- 1.5 ℃

模擬(ni)輸出(chu)：0.2 至 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模(mo)擬輸出分(fen)辨率(lv)：12 位

模擬輸出更(geng)新率：124 Hz

響應時間(jian)：< 20 ms

溫度補償：+10 至 +50 ℃

設定點范圍（Abs值）：5×10^-6 至 1,333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

設定點(dian)輸出(chu)高電平：> 2.9 VDC

設定點輸出低(di)電(dian)平(ping)：< 0.4 VDC

設定(ding)點輸出源(yuan)電流(liu)和灌(guan)電流(liu)：Max 1 mA

工作(zuo)環(huan)境溫度(du)：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至 +50 ℃

存儲環(huan)境(jing)溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤(kao)溫(wen)度（非工作(zuo)）：+120 ℃

Max介質壓力_Abs：10 bar

安裝位置：任意

防護(hu)等級，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度(du)，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電(dian)源電(dian)壓：+3.3 VDC 或(huo) 4 至 18 VDC

功耗：25 mW（Max值）3.3 VDC 電源(yuan)；95 mW（Max值）4 至 18 VDC 電源(yuan)

限性反接保護：無

過壓保護：無

質譜儀、掃描電子(zi)顯微鏡、真空泵集成、閥(fa)門集成、太空飛行、泄漏檢測、飛輪(lun)儲(chu)能、真空開關