26系(xi)列(lie)閥門是波紋管(guan)(guan)密封的,專為(wei)泵送系(xi)統(tong),半導體技術(shu),研究系(xi)統(tong)等領域的高真(zhen)空(kong)應用(yong)而設(she)計(ji)。本系(xi)列(lie)高真(zhen)空(kong)角(jiao)閥帶波紋管(guan)(guan)饋入(ru)裝置,模塊化(hua)設(she)計(ji)。
執行器類型
手動執(zhi)行器(手輪(lun)可拆卸)
電磁(ci)執行器(單閉合彈簧NC,帶控制電子元件)
氣動(dong)執行器(雙作用)
氣動執行器(帶(dai)閉合彈簧(huang)NC或打(da)開彈簧(huang)NO)
VAT公司由(you)Siegfried Schertler于1964年創立,是一家總部位于瑞士Hagg(靠近St.Gallen)的(de)跨國公司。在真空(kong)(kong)閥(fa)門(men)、模組、波紋(wen)管、半導(dao)體及(ji)真空(kong)(kong)鍍膜行業的(de)相關服務(wu)、研發領(ling)域,是全球(qiu)先進的(de)研發和制造商。公司是經ISO 9001和ISO14001認證的(de),并定(ding)期進行其它的(de)外部評估。
密(mi)封:FKM(VITON)
饋入裝置:波紋管
滲漏率:<1.10-9 mbar ls-1
泄漏率底座:<1.10-9 mbar ls-1
公(gong)稱內徑(jing)(ID)(mm)(inch):10(3/8”) - 250(10”)
閥體材(cai)質:鋁(lv); 不銹(xiu)鋼