基(ji)于COAX技術，帶(dai)有(you)集成控制(zhi)(zhi)和(he)(he)特殊功(gong)(gong)(gong)能(neng)(neng)(neng)，諸如開/關閥(fa)、吹(chui)斷閥(fa)、真空開關、節能(neng)(neng)(neng)功(gong)(gong)(gong)能(neng)(neng)(neng)等。它們(men)是可(ke)配(pei)置(zhi)的(de)(de)(de)平(ping)臺，因此(ci)很容易指定所需(xu)要系(xi)統的(de)(de)(de)精確控制(zhi)(zhi)功(gong)(gong)(gong)能(neng)(neng)(neng)。本真空泵主要的(de)(de)(de)特點包(bao)括：提供(gong)三個階段COAX墨(mo)盒MINI，為了(le)有(you)利于額(e)外的(de)(de)(de)真空流(liu)通(tong)可(ke)選擇一(yi)個Si盒，Pi盒用(yong)于高性能(neng)(neng)(neng)、低進給壓力的(de)(de)(de)情況，或當需(xu)要一(yi)個高流(liu)量(liang)和(he)(he)高真空時，選擇一(yi)個Xi盒；包(bao)括一(yi)個流(liu)動消音(yin)器(qi)和(he)(he)一(yi)個內置(zhi)的(de)(de)(de)真空過濾器(qi)，適(shi)用(yong)于惡(e)劣的(de)(de)(de)環境中；適(shi)用(yong)于快速和(he)(he)可(ke)靠的(de)(de)(de)疏散(san)密封系(xi)統；纖(xian)薄小巧、可(ke)配(pei)置(zhi)、模塊化(hua)設(she)計；低體重(zhong)。