Entegris 是微電(dian)子(zi)行業空(kong)氣分子(zi)污染 (AMC) 控制(zhi)領域的(de)(de)佼佼者。 我們(men)的(de)(de) VaporSorb CSP-32 化學(xue)(xue)(xue)空(kong)氣過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)為(wei)曝(pu)光(guang)工(gong)具(ju)光(guang)學(xue)(xue)(xue)元(yuan)件(jian)和(he)(he)光(guang)刻膠(jiao)提(ti)供(gong)保護。 CSP-32 過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)包含(han)碳(tan)和(he)(he)聚合化學(xue)(xue)(xue)介質(zhi)的(de)(de)獨(du)特(te)組合，可針對(dui)并去除分子(zi)酸（如 HCl、H2SO4 和(he)(he) HNO3）、酸形成物質(zhi)（如 SO2）、分子(zi)堿（如 NH3、NMP 和(he)(he) 胺）和(he)(he)可冷凝有(you)機化合物，定義為(wei)沸點大于 150°C (302°F) 和(he)(he)/或分子(zi)量大于 120 的(de)(de)化合物。專(zhuan)門設計用于 Entegris 的(de)(de)定制(zhi)過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)外(wai)殼，例如 E1250、Ex2600 和(he)(he) E3000、VaporSorb CSP-32 過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)以串聯方式使用，以提(ti)供(gong)保護，防止(zhi)意外(wai)和(he)(he)升高的(de)(de)污染事件(jian)，包括意外(wai)的(de)(de)溶劑(ji)和(he)(he)顯影劑(ji)化學(xue)(xue)(xue)品泄漏。

不(bu)對稱濾波器設計可防止 HDMSO 轉換為 TMS

去除(chu)酸、堿和可冷凝的有機物

折疊(die)式過濾器設計(ji)采(cai)用剛性深框

低壓降(jiang)使多個保護層的串聯過濾(lv)器布局成為(wei)可(ke)能

堆棧間采(cai)樣端口，便于監控