Entegris E2600 過(guo)濾(lv)(lv)(lv)器(qi)(qi)外殼用(yong)于化(hua)(hua)學(xue)(xue)凈化(hua)(hua)光(guang)刻曝光(guang)工(gong)具(ju)(ju)中(zhong)使用(yong)的(de)(de)環(huan)境空(kong)(kong)氣。 E2600 過(guo)濾(lv)(lv)(lv)系統可保(bao)護曝光(guang)工(gong)具(ju)(ju)免受各種空(kong)(kong)氣分子污染(ran)物的(de)(de)影(ying)響。 E2600 過(guo)濾(lv)(lv)(lv)器(qi)(qi)外殼設計用(yong)于與(yu) Entegris 化(hua)(hua)學(xue)(xue)空(kong)(kong)氣過(guo)濾(lv)(lv)(lv)器(qi)(qi)一起使用(yong)，以(yi)保(bao)護曝光(guang)工(gong)具(ju)(ju)中(zhong)的(de)(de)化(hua)(hua)學(xue)(xue)放大抗蝕劑(ji)和暴露的(de)(de)光(guang)學(xue)(xue)表面。當配備(bei) Entegris 混合(he)介質化(hua)(hua)學(xue)(xue)空(kong)(kong)氣過(guo)濾(lv)(lv)(lv)器(qi)(qi)時，E2600 過(guo)濾(lv)(lv)(lv)器(qi)(qi)外殼可提供(gong)先進的(de)(de)保(bao)護，防止空(kong)(kong)氣中(zhong)的(de)(de)分子酸、堿和可冷(leng)凝有機(ji)化(hua)(hua)合(he)物。在 E2600 內(nei)部，專門的(de)(de)化(hua)(hua)學(xue)(xue)過(guo)濾(lv)(lv)(lv)器(qi)(qi)以(yi)多級(ji)串聯配置排列，以(yi)提供(gong)保(bao)護，防止嚴重(zhong)的(de)(de)污染(ran)事件，例如溶劑(ji)和顯影(ying)劑(ji)化(hua)(hua)學(xue)(xue)品的(de)(de)意外溢出(chu)。

去除酸、堿和可冷凝的有機(ji)物

內部(bu) HEPA 過(guo)濾器確保顆(ke)粒(li)控制(zhi)

用(yong)于性(xing)能監(jian)控(kong)的堆棧間示例(li)端(duan)口

占地面積小，節省(sheng)潔凈室空(kong)間(jian)

剛性結構(gou)確保可靠、無故(gu)障運行

雙入口(kou)和出口(kou)過(guo)渡，用于簡單、硬或靈活(huo)的管道連接