59.0 UHV 全(quan)金屬可變泄漏閥允(yun)許準確控制非(fei)常小的(de)氣(qi)體(ti)流量(1·10-10 mbar ls)。 憑借(jie)其全(quan)金屬設計,它非(fei)常適合 UHV 和UHV 工藝中的(de)氣(qi)體(ti)計量要求。
59.0 的(de)特殊控制(zhi)功能保證了(le)(le)可(ke)重復的(de)準確氣體流量設置,增強了(le)(le)過程控制(zhi)能力。它還在整(zheng)個生命周期內提(ti)供可(ke)靠、無泄漏的(de)關閉,沒有任何密封疲勞的(de)風險(xian)。
全金屬(shu)設計——不銹鋼閥體(ti)和鍍金不銹鋼薄膜閘門(men)密(mi)封——使 59.0 還具有對腐蝕性和腐蝕性氣體(ti)的高耐受性。
59.0 已經(jing)安(an)裝(zhuang)在各種工(gong)藝條件下的數千種苛刻(ke)應用(yong)中,證明了其可靠性。它已成為 UHV 和 XHV 應用(yong)中可變(bian)泄漏閥的標準解決方案。