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VAT泄漏閥59024-GEGG

  • 品  牌:VAT
  • 型  號:59024-GEGG
  • 技術資料:
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產品介紹

59.0 UHV 全(quan)金屬可變泄漏閥允(yun)許準確控制非(fei)常小的(de)氣(qi)體(ti)流量(1·;10-10 mbar ls)。 憑借(jie)其全(quan)金屬設計,它非(fei)常適合 UHV 和UHV 工藝中的(de)氣(qi)體(ti)計量要求。

59.0 的(de)特殊控制(zhi)功能保證了(le)(le)可(ke)重復的(de)準確氣體流量設置,增強了(le)(le)過程控制(zhi)能力。它還在整(zheng)個生命周期內提(ti)供可(ke)靠、無泄漏的(de)關閉,沒有任何密封疲勞的(de)風險(xian)。

全金屬(shu)設計——不銹鋼閥體(ti)和鍍金不銹鋼薄膜閘門(men)密(mi)封——使 59.0 還具有對腐蝕性和腐蝕性氣體(ti)的高耐受性。

59.0 已經(jing)安(an)裝(zhuang)在各種工(gong)藝條件下的數千種苛刻(ke)應用(yong)中,證明了其可靠性。它已成為 UHV 和 XHV 應用(yong)中可變(bian)泄漏閥的標準解決方案。

 

性能特點

  • 用于氣流的高精度氣體計量
  • 準確重現的氣體流量設置
  • 可靠的終生防漏密封
  • 耐腐蝕性和腐蝕性氣體
  • 氣體流量下的壓力控制
  • 增強的過程可控性
  • 正常運行時間長

技(ji)術參數


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