HPD 4 K 低(di)溫晶(jing)圓(yuan)探(tan)針是一種(zhong)高(gao)精度全自動探(tan)針臺，適用(yong)于 4 K 環(huan)境中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de) 150 毫(hao)米和(he)(he) 200 毫(hao)米基板(ban)。為(wei)了加速商用(yong)量(liang)子和(he)(he)超導(dao)計(ji)算(suan)機(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)實現，我們為(wei)芯片(pian)開(kai)發人員(yuan)提供(gong)了智能迭代(dai)設(she)計(ji)所需的(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)具(ju)(ju)。4 K 低(di)溫晶(jing)圓(yuan)探(tan)測(ce)(ce)器集成了可配置的(de)(de)(de)(de)(de) DC 和(he)(he) RF 電(dian)纜(lan)，以及可用(yong)于測(ce)(ce)試(shi)配置的(de)(de)(de)(de)(de)更大靈活性的(de)(de)(de)(de)(de)定(ding)制(zhi)探(tan)針卡。具(ju)(ju)有集成磁屏蔽的(de)(de)(de)(de)(de)穩健(jian)設(she)計(ji)提供(gong)了必要的(de)(de)(de)(de)(de)穩定(ding)環(huan)境條件(jian)，以確保為(wei)敏感的(de)(de)(de)(de)(de)超導(dao)設(she)備提供(gong)高(gao)質量(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)數據。全自動晶(jing)圓(yuan)裝載和(he)(he)復雜的(de)(de)(de)(de)(de) Velox 軟件(jian)套件(jian)允許進行高(gao)吞吐量(liang)測(ce)(ce)試(shi)和(he)(he)無人值(zhi)守操作(zuo)，以快速獲取數據。FormFactor 長期的(de)(de)(de)(de)(de)探(tan)測(ce)(ce)知識和(he)(he)數十年的(de)(de)(de)(de)(de)準(zhun)確低(di)溫經驗在該系統中(zhong)相結合，將超導(dao)設(she)備的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)試(shi)和(he)(he)測(ce)(ce)量(liang)從實驗室帶入晶(jing)圓(yuan)廠(chang)。

環境控制

• 晶圓溫度驗證 <4.5 K（44 個射頻探頭接觸）
• 磁場抑制<200 nT
• 高度均勻的晶圓溫度
• 準確的熱穩定性和控制
• 堅固的花崗巖底座結構可實現準確的運動和振動控制

靈活性

• 輕松更換可定制的探針卡
• 可配置為 150 毫米或 200 毫米晶圓
• 多達 56 個射頻同軸電纜（高達 18 GHz）
• 多達 520 條直流線路

自動化

• 全自動晶圓裝載或手動選項
• 用于手動、半自動或全自動探測的完整軟件套件

數據獲取時間

• 25 個晶圓盒容量，用于全自動測試
• 每個晶圓約 15 分鐘的冷卻時間
• 用于快速模具到模具運動的高速運動平臺

用(yong)于快(kuai)速(su)穩定時間(jian)的剛(gang)性運動堆棧(zhan)

量(liang)子計算、超(chao)導芯(xin)片開(kai)發、量(liang)子信(xin)息(xi)科學