COHERENT準分子激光器TwinVYPER
- 品(pin) 牌(pai)：COHERENT
- 型 號(hao)：TwinVYPER
- 技術資(zi)料：
- 閱讀次數(shu)：1075
產品(pin)介紹(shao)
VYPER 系列激光(guang)器(qi)是專為準分子激光(guang)退火 (ELA) 設計的多(duo)(duo)(duo)光(guang)束(shu)高(gao)(gao)功率準分子激光(guang)器(qi)。高(gao)(gao)分辨率移動顯(xian)示器(qi)制造(zao)的高(gao)(gao)質量需(xu)求需(xu)要高(gao)(gao)品位(wei)低溫多(duo)(duo)(duo)晶硅(gui) (LTPS)，該多(duo)(duo)(duo)晶硅(gui) (LTPS) 只(zhi)能(neng)使用(yong)準分子激光(guang)器(qi)制造(zao)。
這些激光器(qi)非(fei)常適合高功率(lv) LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學器(qi)件。
性能(neng)特(te)點
- 非常高的UV 功率，可實現高通量應用
- 能量穩定性，確保高產量
- EquiSwitch 同步提供低的抖動
- 激光數據采集可實現過程控制
- 密封和凈化的光束路徑，可實現穩定的長期運行
- 用于控制和快速數據采集的以太網接口
技術參數
產品尺寸
產品應用
準分子激光退火
脈沖激光沉積
