基于強大的(de) COMPex 準分子(zi)激光(guang)(guang)器的(de)系(xi)統(tong)是(shi)用于具(ju)有線光(guang)(guang)束或(huo)方(fang)形(xing)光(guang)(guang)束場形(xing)狀的(de)高質量 UV 微加(jia)工的(de)靈活工具(ju)。

光學設計(ji)、堅固的(de)機械結構(gou)和(he)具有脈(mo)沖(chong)間穩定性(xing)的(de)準分子激光器可提(ti)供非(fei)常(chang)準確的(de)結果(guo)。應用包括(kuo)激光剝(bo)離 (LLO) 分離、摻雜劑離子激活、燒蝕圖案(an)化和(he)薄膜退火(huo)。

• 高分辨率光學和機械結構確保可重復的結果
• 模塊化設計，提供靈活使用的定制選項
• 方光束和線光束場以獲得更優的結果
• 支持所有 COMPex 激光器型號以實現有效率的加工

激光剝離分離

摻雜離子激活

燒蝕圖案

準分子激光退火