基于強大的 COMPex 準分子激光器的系統是用(yong)于具有線光束或方形(xing)(xing)光束場(chang)形(xing)(xing)狀的高質量 UV 微(wei)加工的靈活工具。

光學設計、堅固的機械結構和具有脈(mo)沖間穩定性的準分子激(ji)光器可提供(gong)非常準確的結果。應(ying)用(yong)包括(kuo)激(ji)光剝(bo)離(li) (LLO) 分離(li)、摻雜(za)劑離(li)子激(ji)活、燒蝕圖案化(hua)和薄膜退火(huo)。

• 高分辨率光學和機械結構確保可重復的結果
• 模塊化設計，提供靈活使用的定制選項
• 方光束和線光束場以獲得更優的結果
• 支持所有 COMPex 激光器型號以實現有效率的加工

激光剝離分離

摻雜離子激活

燒蝕圖案

準分子激光退火