MALEMA流量(liang)控(kong)制器LFC-7000是一款超(chao)(chao)聲波(bo)液(ye)(ye)體(ti)流量(liang)控(kong)制器，這款高性能閉(bi)環(huan)流量(liang)控(kong)制器設計用于各(ge)種(zhong)液(ye)(ye)體(ti)，包括去離子水、刺激性化(hua)學品和(he)CMP拋(pao)光漿料(liao)(liao)。LFC-7000流量(liang)控(kong)制器采用無移動部件(jian)的超(chao)(chao)聲波(bo)流量(liang)計模塊提供“正常(chang)運行時(shi)間”（含夾(jia)管更(geng)換周期為 3 年或更(geng)長(chang)時(shi)間的漿料(liao)(liao)模塊）。

• 高精度，將流量控制在設定值的 ± 1%以內
• 快速響應3 秒
• 2 種類型的控制閥應用范圍廣
• 廣泛的流量控制能力
• 全PTFE/PFA 潤濕部件結構 - 確保與高壓液體化學品、去離子水和 CMP 漿料兼容（漿料模塊配有鉑固化硅膠管）

產地：美國

標(biao)準滿量程范圍：50、100、250、500、1000、1500、2500、4000、8000、12000 mL/min

精度：（室溫DIW）：設定點的 ±1% 或± 3mL/min（以較(jiao)大者為準）

重復性：設定(ding)值的 ±1% 或 ±1 mL/min（以較大者為準）

控(kong)制重(zhong)復性(xing)：±設定點(dian)的 0.5% 或 ±0.5mL/min（以較大者為準）

流量(liang)控制時(shi)間：< 3 秒

流體溫度：10℃- 60℃

環境溫(wen)度(du)：0 - 40℃

環境濕度：30 - 80% RH，不結(jie)露(lu)

預(yu)期工作壓力Max：50 磅(bang)/平方(fang)英寸

內部壓(ya)力Max：70 磅/平(ping)方英寸

壓差范圍：7 至 30 psid

非接液部件外殼材料(liao)：PPS、PEEK、亞克力、乙烯基、PVC

接液部件材料：PFA、PTFE、鉑固(gu)化有(you)機硅

阻燃：FMET4325

安裝方向：水平或垂直

流體(ti)連接(jie)：入口(kou)/出口(kou)：1/4" 或(huo) 3/8"，擴(kuo)口(kou)或(huo)柱(zhu)形(xing)

流量限制（孔口(kou)）：> 2 mm

入口防護(hu)等級：IP64

電源輸入：24 V±10 %

電(dian)流消耗Max：0.5 A

控(kong)制(zhi)信(xin)號輸(shu)入：0 至 10 V或 4 至 20 mA

流(liu)量信號輸(shu)出：0 至(zhi) 10 V或 4 至(zhi) 20 mA

半導體CMP工具

基(ji)于蠕動泵的輸送系統

控制清潔化學品的(de)混合和輸送

流體混合

點膠應用