新型超臨界Automegasamdri-938系統由我們(men)的內部(bu)設計團隊開發，其目標是(shi)傾聽您(nin)的需求(qiu)，并將其融入我們(men)的下一代產(chan)品(pin)中(zhong)。幾十年來，您(nin)一直(zhi)期(qi)待(dai)的經典(dian)功能能夠(gou)實現(xian)平穩操(cao)作(zuo)、準確控制和再現(xian)性，在(zai)我們(men)這個新的設計中(zhong)再次顯現(xian)。

• 運行室中的專用初始慢速填充可以實現理想的流體動力學，從而保留敏感的微型設備。
• 通過可接近的部件，包括外部吹掃后過濾器組件，維護變得容易。
• “渦流”技術：非機械攪拌室，允許流體動態交換，無需產生顆粒的摩擦裝置。
• 集成閉合冷卻回路可快速降低腔室溫度，縮短工藝運行時間。
• 內部SOTER（tm）冷凝器安靜地捕獲并分離二氧化碳廢氣和廢酒精。
• 腔室插入件可實現腔室內徑的變化，更大限度地提高LCO2消耗效率、工藝時間，并提供多種尺寸的晶圓工藝能力。
• 處理室LCO2過濾至0.08μm，顆粒保留率達到99.999%+。
• 每次運行可處理五個8“（200mm）晶圓。包括以下HF兼容晶圓夾：8”（200mm）、6”（150mm）、4”（100mm）、3”（75mm）、2”（50mm）和10mm模具夾。
• 通過觀察窗口實現腔室照明，有助于腔室狀態可視化。
• 自動處理與工廠默認配方或自定義自己的能力。
• 所有內表面對二氧化碳和超純醇都是惰性的。
• 可重復的操作參數，確保結果的“再現性”。
• 操作功能集成在溫度和壓力自動調節中。
• 潔凈室無靜電兼容設計。

8760-03：8“工藝(yi)室用KNURL螺母

8760-41：適(shi)用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的3A保險(xian)絲

8760-42：適(shi)用(yong)于Autosamdri、Automegasamdri和觸(chu)摸屏C系列(lie)的8A保險絲

8770-13：LED室(shi)燈，120V

8770-32：高壓軟(ruan)管，5英(ying)尺

8770-33：高壓軟(ruan)管(guan)，10英(ying)尺

8770-80：4“工藝腔(qiang)室(shi)的腔(qiang)室(shi)蓋

8785：雙T形過濾器組件

8770-83B：用于(yu)LCO2 T型過(guo)濾(lv)器或外(wai)部吹掃管線過(guo)濾(lv)器的(de)0.5µm不銹鋼顆粒(li)過(guo)濾(lv)器元件。

8784-05：LCO2儲罐連(lian)接墊片

8770-51T/916B：AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型環

8770-48：流量(liang)計-與Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B（180 SCFH）一起使用

8770-54：LCO2油箱秤，帶遠程顯示器

8768H：8“-200毫米HF兼容(rong)晶(jing)圓架，容(rong)納5個晶(jing)圓

8768A：6“-150mm HF兼容(rong)晶圓架，容(rong)納5個晶圓

8768F：5“-125mm HF兼容(rong)晶圓架，容(rong)納5個晶圓

8768B：4“-100mm HF兼(jian)容晶(jing)圓架，容納(na)5個(ge)晶(jing)圓

8768C：3“-75mm HF兼容晶(jing)圓架，容納5個晶(jing)圓

8768D：2“-50mm HF兼容晶(jing)圓(yuan)架，容納5個(ge)晶(jing)圓(yuan)

8768G：1“-25mm HF兼容(rong)晶圓(yuan)(yuan)架，容(rong)納(na)5個(ge)晶圓(yuan)(yuan)

8768E：10mm方形(xing)HF兼容(rong)芯片(pian)支架(jia)，可(ke)容(rong)納(na)5個芯片(pian)

產地：美國

柜子：19.8" (50.3cm)寬x 31.7" （80.6cm）深(shen)x 44.5" （113.0cm）高

系(xi)統設(she)置區域(yu)占(zhan)地面積：27" （68.6cm）寬x 38" （96.5cm）深

腔室尺(chi)寸(cun)：8.50“內徑x 1.25”深(shen)度

腔(qiang)室容積(ji)：1162 ml

電壓：120V或220V

頻率：50-60Hz

流量控制：微型計(ji)量閥

晶圓尺(chi)寸：可達(da)8"-200mm

編織線材(cai)質：SS316

編織線長度：10ft/3m（其他長度可(ke)(ke)根(gen)據要求(qiu)提(ti)供，可(ke)(ke)達100ft/30m）

過濾器組件：雙T形，預裝

生物工程

植物學

昆蟲學

凝膠

石墨烯

MEMS

金屬有機框架

其他SEM CPD應用程序