MProbe 20是一種用于(yu)(yu)全球(qiu)數千個應(ying)用的薄(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)測(ce)量臺(tai)式系統。它只需單擊鼠(shu)標即可測(ce)量薄(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)和(he)折(zhe)射率(lv)。可以(yi)快(kuai)速(su)可靠地(di)測(ce)量1nm至1mm的厚(hou)度(du),包括多(duo)層膜(mo)堆疊。不同的MProbe 20模(mo)型主要通過光(guang)譜儀的波長范圍(wei)和(he)分辨率(lv)來(lai)區分,這反(fan)過來(lai)決定了可以(yi)測(ce)量的材料的厚(hou)度(du)范圍(wei)和(he)類型。該測(ce)量技(ji)術基于(yu)(yu)光(guang)譜反(fan)射——快(kuai)速(su)、可靠且無損。
產地:美國
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm氧化物上進行100次測量的s.d.)
<1nm或0.2%(依賴于(yu)膠(jiao)片堆(dui)棧)
穩(wen)定性:<0.02nm或0.2%(20天,每天測量)
測量(liang)厚度:1nm至1mm
光(guang)斑尺寸:<1mm
樣品(pin)尺寸:>=10mm
主機:包括光(guang)(guang)(guang)譜儀、光(guang)(guang)(guang)源、光(guang)(guang)(guang)控制(zhi)器微處理器
樣品臺:SH200A
探頭:光纖反射
測試(shi)樣品(pin):200nm氧化硅或PET薄膜
電纜:USB或LAN
電源(yuan)適配器:24VDC
電壓(ya):110/220V