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Semicansoft薄膜測量系統MProbe 20

  • 品  牌:Semicansoft
  • 型  號:MProbe 20
  • 技術資料:
  • 閱讀次數:1353

產品介(jie)紹

MProbe 20是一種用于(yu)(yu)全球(qiu)數千個應(ying)用的薄(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)測(ce)量臺(tai)式系統。它只需單擊鼠(shu)標即可測(ce)量薄(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)和(he)折(zhe)射率(lv)。可以(yi)快(kuai)速(su)可靠地(di)測(ce)量1nm至1mm的厚(hou)度(du),包括多(duo)層膜(mo)堆疊。不同的MProbe 20模(mo)型主要通過光(guang)譜儀的波長范圍(wei)和(he)分辨率(lv)來(lai)區分,這反(fan)過來(lai)決定了可以(yi)測(ce)量的材料的厚(hou)度(du)范圍(wei)和(he)類型。該測(ce)量技(ji)術基于(yu)(yu)光(guang)譜反(fan)射——快(kuai)速(su)、可靠且無損。

性(xing)能特(te)點

  • 靈活:模塊化薄膜厚度測量系統:為您的應用選擇更好配置,并在需要時輕松升級
  • 精度:<0.01nm或0.01%
  • 材料:500+擴展材料數據庫
  • 軟件:用戶友好且功能豐富的TFCompanion軟件甚至可以處理復雜的應用程序。層數無限制,支持背面反射率、表面粗糙度、暗度等。
  • 集成:輕松集成TCP服務器
  • 實時、一鍵測量和分析
  • 測量歷史:調用/顯示測量結果和統計數據

技術(shu)參(can)數

產地:美國

精度:<0.01nm或0.01%(在200nm氧化物上進行100次測量的s.d.)

<1nm或0.2%(依賴于(yu)膠(jiao)片堆(dui)棧)

穩(wen)定性:<0.02nm或0.2%(20天,每天測量)

測量(liang)厚度:1nm至1mm

光(guang)斑尺寸:<1mm

樣品(pin)尺寸:>=10mm

主機:包括光(guang)(guang)(guang)譜儀、光(guang)(guang)(guang)源、光(guang)(guang)(guang)控制(zhi)器微處理器

樣品臺:SH200A

探頭:光纖反射

測試(shi)樣品(pin):200nm氧化硅或PET薄膜

電纜:USB或LAN

電源(yuan)適配器:24VDC

電壓(ya):110/220V

 


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