用于雙激(ji)光故障注入的 D-LMS 顯微鏡(jing)站是一個平臺,允許獨立聚(ju)焦和掃描兩個激光點,用于集成電(dian)路的評估。雙點注(zhu)射工(gong)藝(yi)的理(li)想選擇,它提供了所有(you)空間和時間的靈活性,可以通過背面分析(xi)電(dian)路
集(ji)成電(dian)路(lu)評估雙激光站(均通過顯微鏡點)
背面激光(guang)故障注(zhu)入的理想選擇
具有高分辨率物鏡的(de)1米以下(xia)單模(mo)激光(guang)(guang)光(guang)(guang)斑尺寸
兩個激光光斑都具有完全獨立的(de)時間和(he)空間調(diao)制
通(tong)過數百米的(de)(de)硅(gui)來觀(guan)察集(ji)成電路(lu)路(lu)徑上的(de)(de)激光點的(de)(de)照相機
高再現性和高分(fen)辨率激(ji)光光斑位移
包(bao)括三個(ge)阿爾(er)法諾夫激光(guang)模塊
光學鏡頭技術
光電發射(she)套件
熱激光刺激套件
通過CE認證的激光(guang)外殼完成自(zi)動設置(zhi)
高分辨率目標
單(dan)模(mo)光纖激光器
|
PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
脈沖持(chi)續時間 |
從1.5納秒(miao)到連續波 |
從(cong)1.5納秒到(dao)連續波(bo) |
峰(feng)值(zhi)功率 |
高達3.2瓦 |
高達10瓦 |
波(bo)長(chang) |
980納(na)米;1064牛米 |
980納(na)米;1064牛米 |
重(zhong)復率 |
從單發到(dao)250兆赫 |
從(cong)單(dan)發到250兆赫 |
命令(ling)接口 |
TTL/LVTTL /軟(ruan)件& dlls |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
光(guang)束質量 |
單模 |
單模 |
InGaAs 紅外(wai)相機
Captor |
640x512 µm |
動態量程 |
140 dB |
接口 |
USB(包含軟件(jian)) |
電學
電壓 |
220 V/110 V |
電流(liu) |
16 A |