SmartTrak 50系(xi)列(lie)經過優化，具有長期過程(cheng)控制應(ying)用所需的(de)(de)(de)穩定性(xing)、可靠性(xing)和(he)(he)操作(zuo)簡單性(xing)，以經濟的(de)(de)(de)價(jia)格提供(gong)高精(jing)度(du)和(he)(he)可靠的(de)(de)(de)氣體(ti)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制。max流(liu)量(liang)范圍從50 slpm增加到200slpm。這(zhe)使得(de)它(ta)非常(chang)適合控制晶(jing)圓清潔和(he)(he)拋光操作(zuo)中使用的(de)(de)(de)載氣，或PVD和(he)(he)其他半導體(ti)操作(zuo)中的(de)(de)(de)吹掃控制。它(ta)還擅(shan)長一般應(ying)用中常(chang)見氣體(ti)的(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控制。模(mo)擬和(he)(he)數字輸(shu)入和(he)(he)輸(shu)出均可用，使 50系(xi)列(lie)能夠與(yu)較(jiao)舊的(de)(de)(de)模(mo)擬系(xi)統或新的(de)(de)(de)多點數字工具一起使用。零位和(he)(he)跨度(du)的(de)(de)(de)現場(chang)調整使校準中的(de)(de)(de)小調整能夠與(yu)現場(chang)過程(cheng)保持一致條(tiao)件。

• 控制氣體質量流量至 200 slpm (nlpm)
• 針對長期過程控制優化的穩定性和可靠性
• 非常適合控制晶圓清潔和拋光操作中使用的載氣
• 廣泛用于物理氣相沉積 (PVD) 和其他半導體工藝應用的腔室吹掃操作
• 精度：普通氣體（空氣、Ar、CO2、CO、CH4、He、H2、O2、N2）的 +/- 1.0% 滿量程
• 重復性：+/- 0.25% 滿量程
• 先進的 316L SS 鉑傳感器技術和專利 LFE 提供良好的線性性能
• 鋁或 316 SS 流動體，帶 Viton 彈性體
• 帶有可選模擬設定值/輸出信號的本地顯示和數字設定值控制
• RS-232 與 PLC 或工作站輕松連接（提供用戶軟件）
• 現場可調零位和跨度
• RS-485（可尋址）支持在復雜半導體工具內聯網
• 強大的直動式控制閥可max限度地減少泄漏

• 精度：滿量程的 +/- 1.0%，包括在 32° 至 122°F（0° 至 50°C）和 5 至 145 psig（0.3 至 10 barg）的校準條件下的線性度，適用于常見氣體：空氣、Ar、CO2 、CO、CH4、He、H2、O2、N2。
• 重復性：+/- 0.25% of full scale
• 溫度系數：0.025% of full scale per°F（0. 05% of full scale per °C）或更好
• 壓力系數：0.01%of full scale per psi（0.15% of full scale per bar）或更好
• 響應時間：2 秒（典型值）到終值的 +/- 2% 以內，包括設置時間。50系列可調整為更快或更慢（咨詢工廠）