MPS系列可(ke)以(yi)通過(guo)(guo)監(jian)控過(guo)(guo)程條(tiao)件、檢測(ce)污染(ran)物(wu)(wu)和(he)檢查泄(xie)漏來幫助您優化過(guo)(guo)程。提供(gong) 100 amu 和(he) 200 amu 兩種版本，能夠靈(ling)活地執行(xing)各種功能，包括一般泄(xie)漏檢測(ce)、真空診斷(duan)和(he)碳氫化合物(wu)(wu)分析。

• 雙燈絲
• 現場可更換電子倍增器
• 可現場更換的陽極、陰極和排斥極燈絲組件
• 可互換的傳感器和電子設備
• TCP/IP 以太網連接
• 較短的傳感器可max限度地減少安裝空間
• max模擬掃描和選定峰值的每點數據速率為 3 ms
• MDPP <1.5E-14 Torr
• 傳感器在潔凈室環境中組裝、測試和雙重包裝

• 傳感器長度：14.3 厘米
• 質量范圍：100 amu
• 探測器類型：FC
• 靈敏度 (FC)：3E-4 amps/Torr
• 靈敏度 (EM):NA
• min可檢測分壓 (3)：2.6E-12 Torr
• max傳感器工作溫度 (FC):200°C
• max傳感器工作溫度 (EM):不適用
• 燈絲類型選項：雙 Y2O3/Ir 燈絲
• 分辨率 (1)：<1 amu 寬
• 溫度系數 (2)：<1%/°C
• 每點max數據速率：3 ms
• 零爆炸（@質量 2）：<100 ppm
• max工作壓力：5E-4 Torr
• max烘烤溫度：300 °C
• 電源輸入：20-30 VDC